光整加工。光整加工后的工件。这个也是后一步,同样非常的重要。主要表面的光整度的加工(如研加工、珩磨加工、精磨加工﹨滚压加工等),应放在工艺路线后阶段进行,加工后的表面光洁度必须要达到客户的要求,一定要确保加工出来的精密零部件安放,争取做到轻拿轻放,精密机械加工厂,因为轻微的碰撞都会损坏表面,在光整加工后,都要用绒布进行保护,不准用手或其它物件直接接触工件,以免光整加工的表面,由于工序间的转运和安装而受到损伤。
目前已有大量的微型机械或微型系统被研究出来,例如:直径为5μm的微型镊子可以夹起一个红血球,尺寸为7mm×7mm×2mm的微型泵流量可达250μl/min能开动汽车,青岛精密机械加工,在磁场中飞行的机器蝴蝶,以及集微型速度计、微型陀螺和信号处理系统为一体的微型惯性组合(MIMU)。德国创造了LIGA工艺,制成了悬臂梁、执行机构以及微型泵、微型喷嘴、湿度、流量传感器以及多种光学器件。美国加州理工学院在飞机翼面粘上相当数量的1mm的微梁,控制其弯曲角度以影响飞机的空气动力学特性。美国大批量生产的硅加速度计把微型传感器(机械部分)和集成电路(电信号源、放大器、信号处理和正检正电路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范围内。日本研制的数厘米见方的微型车床可加工精度达1.5μm的微细轴。
微型机械在国外已受到、企业界、高等学校与研究机构的高度重视。美国MIT、Berkeley、Stanford﹨ATamp;T的15名科学家在上世纪八十年代末提出"小机器、大机遇:关于新兴领域--微动力学的报告"的国家建议书,声称"由于微动力学(微系统)在美国的紧迫性,应在这样一个新的重要技术领域与其他国家的竞争中走在**",建议*财政预支费用为五年5000万美元,得到美国**机构重视,连续大力投资,并把航空航天、信息和MEMS作为科技发展的三大重点。美国宇航局投资1亿美元着手研制"发现号微型",美国国家科学会把MEMS作为一个新崛起的研究领域制定了资助微型电子机械系统的研究的计划,从1998年开始,资助MIT,大型精密机械加工,加州大学等8所大学和贝尔实验室从事这一领域的研究与开发,年资助额从100万、200万加到1993年的500万美元。把MEMS列为关键技术项目。美国研究计划局积极**和支持MEMS的研究和军事应用,现已建成一条MEMS标准工艺线以促进新型元件/装置的研究与开发。美国工业主要致力于传感器、位移传感器、应变仪和加速度表等传感器有关领域的研究。很多机构参加了微型机械系统的研究,如康奈尔大学、斯坦福大学、加州大学伯克利分校、密执安大学、威斯康星大学、老伦兹得莫尔国家研究等。加州大学伯克利传感器和执行器中心(BSAC)得到和十几家公司资助1500万元后,建立了1115m2研究开发MEMS的**净实验室。
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