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真空度，图一显示了间隙击穿电压和气体压强之间的关系。由图可以看到真空度高于10-2Pa（10-4托）时，击穿电压基本上不再随着气体压力的下降而增大，干螺杆真空泵，因为气体分子碰撞游离现象已不再起作用。当气体压力从l0-2Pa逐步升高时(真空度下降)，击穿强度逐渐下降，而在接近1托(102Pa左右)低，以后又随气压的而。从曲线上可以看出真空度高于10-2Pa时其耐压强度基本上保持不变。这就表明，真空灭弧室的真空度在10-2Pa以上时完全能够满足正常的使用需求。

泵开始工作不久，出现低压力P"g。泵继续运转，由于泵温升高使泵油饱和蒸气压上升、黏度下降，入口压力稍有回升至Pg。Pg即是泵获得的稳定的低压力，亦是泵的极限压力。旋片泵的极限压力与测量时使用的真空计种类有关。用压缩式真空计测量时，极限压力值比用热传导真空计（热偶计或皮氏计等）测量的结果约低一个数量级。这是因为前者只能测得气体的分压，后者测得的是被压气体的全压。

爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下特点：泵腔内无润滑剂，螺杆式真空泵生产厂商，因而无返油现象发生。抽气元件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）。与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。该泵型式多样，合肥真空泵，功能可以扩展，泵的主体，真空泵厂，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防返流的阀门，出口处有截流阀，

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