加工精度达到 1微米的机械加工方法。精密机械加工是在严格控制的环境条件下,使用精密机床和精密量具和量仪来实现的。加工精度达到和超过 0.1微米称超精密机械加工。
精密机械加工的工艺效果是:
①零件的几何形状和相互位置精度达到微米或角秒级;
②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;
③零件表面微观不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米;
④互配件能满足配合力的要求;
⑤部分零件还能满足准确的力学或其他物理特性要求。
拟定工艺路线的一般原则1、先加工基准面 零件在加工过程中,精密机加工厂家,作为定位基准的表面应首先加工出来,以便尽快为后续工序的加工提供精基准。称为“基准”。2、划分加工阶段 加工质量要求高的表面,都划分加工阶段,一般可分为粗加工、半精加工和精加工三个阶段。主要是为了保证加工质量;有利于合理使用设备;便于安排热处理工序;以及便于时发现毛坯缺陷等。
1959年,莱西精密机加工,Richard P Feynman(1965年诺贝尔物理奖获得者)就提出了微型机械的设想。1962年一个硅微型压力传感器问世,其后开发出尺寸为50~500μm的齿轮、齿轮泵、气动涡轮及联接件等微机械。1965年,精密机加工工厂,斯坦福大学研制出硅脑电极探针,后来又在扫描隧道显微镜、微型传感器方面取得成功。1987年美国加州大学伯克利分校研制出转子直径为60~12μm的利用硅微型静电机,显示出利用硅微加工工艺制造小可动结构并与集成电路兼容以制造微小系统的潜力。![]()
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