为了确保整个行业以及**范围内的安全标准,半导体设备行业制定了SEMI S2 / S8指南。它们涵盖了广泛的安全和健康规定,例如法规要求,电气和化学危害,紧急停机和排气规范。上海沃证是的SEMI认证技术服务机构,提供一站式SEMI认证服务,欢迎咨询。
S EMI S2和SEMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南。该标准的先前版本包括SEMI S2-0200,SEMI S2-0302,SEMI S2-1102和SEMI S2-0303,SEMI S2-0703 SEMI S2-93,SEMI S2-93A。
设备类型;SEMI S2适用于所有类型的半导体制造设备。SEMI S2适用于离子植入机,光刻设备,湿式工作台。SEMI S2适用于蚀刻机,掩模对准器,CVD,锯,旋涂机和Fab中的任何其他设备。蚀刻机,植入机,清洁轨道,化学分配系统,散装气体分配,煤气柜,气源柜,计量系统,测试系统,CMP系统,炉,子系统,工业激光器
上海沃证的SEMI S2主管团队
为了满足复杂设备的挑战并帮助设备制造商满足SEMI S2指南中规定的要求,开发了下文所述的全部知识。
安全联锁和紧急关机
设备环境绩效
电气安全
排气通风
*保护
化学安全与工业卫生
加热化学浴
非电离和电离辐射
人机工程学和人为因素
雷射
危险能量隔离
声压级
机械危险与自动化
危险警告标签
抗震保护
安全文件
SEMI(半导体设备与材料的**性组织)是半导体工业的**执行联盟,SEMI之下的安全工作小组为了降低机械危害的风险,制定了一套适用于半导体及显示器材料和制造设备的**性标准和法规,成为半导体业界对设备系统的*的规格要求。 SEMI认证是**半导体产业协会,主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
安全验证测试:机器和设备安全设计的验证测试
1.电气安全验证测试–根据IEC,UL和SEMI S22标准对您的产品进行现场EMC测试。
2.空气中浓度测量/非易燃气体评估测试/气体测试–通过测量操作期间或设备单点故障时设备泄漏的化学的化学暴露量,进行化学暴露安全性的验证测试。
3.各种辐射安全验证测试–通过测量操作期间设备泄漏的电磁,UV,IR,激光和电离辐射**暴露量,进行物理暴露安全性验证测试。
4.符合SEMI F47的电压暂降抗扰度测试
上海沃证的多学科团队拥有丰富的知识和经验,可以根据SEMI S2和其他SEMI准则以及其他**认可的标准为您提供行业认可的设备评估服务。我们针对SEMI S2的广泛内部服务可帮助制造商和终用户以经济有效的方式解决高科技制造的危害。
沃证**检测认证中心是欧洲**认证机构在中国一办事处, 是致力于为国内企业提供**各国安全认证、安全检验与测试、培训等的第三方服务机构,我们的总部位于上海,办事处遍布北京、广州、青岛、温州、宁波等全国各大重要经济城市。沃证是众多国外**检测认证机构的中国区一*合作伙伴,并在多个认证技术性领域内保持国内乃至世界良好地位。 我们主要为国内出口欧洲企业提供测试和认证服务,主要涉及的领域**械、压力设备、建筑材料、游艇、电器、个人防护、医疗器械等,并在这些领域内保持国内良好地位。我们同时也提供针对出口俄罗斯和*联体国家的优质认证服务, 为国内众多企业长期合作伙伴。此外, 近年我们也积极开拓新领域的技术服务,如新能源技术服务, 出口技术培训服务, 第三方委托检验服务等,并**了**的成绩。