供应 美国MEAS TCS208F 利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型气体成份检测

     

  TCS208F气体热导传感器，采用**的MEMS加工技术生产，利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。产品具有检测范围大、可靠性高、安装方便、维护简单等优点。TCS208F气体热导传感器可广泛应用于天然气，CH4、H2，CO2，CO，SF6，Xe，He，NH3等气体成份检测，也可用于测量非常小的气体容积变化。

■ 特点 ■ 应用

　　测量精度高 天然气的成份和来源分析

　　灵敏度高 垃圾填埋，沼气池中CO2和CH4含量

　　集成温度补偿，漂移小 空气混合物中的He或Xe含量

　　体积小，响应速度快 发电厂氢冷电机组循环气中H2含量

　　可以测量微小的气体容量 工业窑炉、锅炉的废气中CO2含量

　　高性价比 化肥厂合成NH3与补充气比例

　　TO8封装，抗冲击能力强

　　■ 性能参数（参考温度25℃）

　　

参 数	较小值	典型值	值	单位
阻值Rm1，Rm2	92	100	115	Ω
阻值 Rt1，Rt2	220	240	275	Ω
比值Rtx / (Rm1+Rm2) | x ε {1,2}	1.13	1.2	1.27
阻值差 Rm1 - Rm2	-2.00		+2.00	Ω
温度系数(Rm, Rt) |20°C–100°C	4800	5500	5900	ppm/K
膜热时间常数(τm)		＜5		ms
气体交换时间常数		＜100		ms
漂移| x ε {m,t} ; y ε {1,2}		0.001	0.01	%week
扩散室空间		0.2		mm3
安装空间		100		mm3

　　

　　■ 额定参数

　　

参数	较小值	典型值	值	单位
加热功率P(Rm1 + Rm2)			30	mW
膜片温度Tm			180	℃
环境温度?	-20		+85	℃

　　■ 工作参数

参数	较小值	典型值	值	单位
加热功率P (Rm1 + Rm2)			5	mW
膜片温度变化 ΔT = Tm -?	30	50	70	℃
测量介质	与Si，SiOxNy，Gold，Epoxy兼容气体

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