加工精度达到 1微米的机械加工方法。精密机械加工是在严格控制的环境条件下,使用精密机床和精密量具和量仪来实现的。加工精度达到和**过 0.1微米称**精密机械加工。
精密机械加工的工艺效果是:
①零件的几何形状和相互位置精度达到微米或角秒级;
②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;
③零件表面微观不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米;
④互配件能满足配合力的要求;
⑤部分零件还能满足准确的力学或其他物理特性要求。
如计算机用的磁鼓、磁盘及大功率激光用的金属反光镜等,比一般切削加工精度要高1~2个等级。例如用精密车削加工的液压马达转子柱塞孔圆柱度为0.5~1μm,精密机械加工,尺寸精度1~2μm;红外反光镜的表面粗糙度 Ra0.01~0.02μm,还具有较好的光学性质。从成本上 看,用精密切削加工的光学反射镜,与过去用镀铬经磨削加工的产品相比,大型精密机械加工,成本大约是后者的一半或几分之一。 精密切削 但许多因素对精密切削的效果有影响,所以要达到预期的效果很不容易。
目前已有大量的微型机械或微型系统被研究出来,精密机械加工中心,例如:直径为5μm的微型镊子可以夹起一个红血球,尺寸为7mm×7mm×2mm的微型泵流量可达250μl/min能开动汽车,精密机械加工零件,在磁场中飞行的机器蝴蝶,以及集微型速度计、微型陀螺和信号处理系统为一体的微型惯性组合(MIMU)。德国创造了LIGA工艺,制成了悬臂梁、执行机构以及微型泵、微型喷嘴、湿度、流量传感器以及多种光学器件。美国加州理工学院在飞机翼面粘上相当数量的1mm的微梁,控制其弯曲角度以影响飞机的空气动力学特性。美国大批量生产的硅加速度计把微型传感器(机械部分)和集成电路(电信号源、放大器、信号处理和正检正电路等)一起集成在硅片上3mm×3mm的范围内。日本研制的数厘米见方的微型车床可加工精度达1.5μm的微细轴。
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