YM-RL系列罗茨泵机组
组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、等组合而成,用于生产、研究设备的真空排气机组。
用途
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
优点
• 无油、干燥、清洁。
• 在低温领域的均热化。
• 大抽速,可以缩短排气时间。
• 优良的耐腐蚀性。
• 低噪音、低震动。
VSN1501 / VSN2401 油旋片式真空泵
特长
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制运转的供油方式和缸体的水冷方式。选用油雾过滤器、油回收装置、及耐热型密封件后,真空泵就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
实现了低噪音
由于采用了极限压力时降低运转声音的结构,VSN1501、VSN2401的噪音能**74dB(A)(到达极限压力时并带有油雾过滤器、在离泵1米处的测定值)。
实现了低震动
由于采用的旋片结构,能达到高速化(50Hz、1500r/min),大大降低了震动传导大的低频领域的震动。因此无须大规模的基础工程,也容易安置于工厂厂房的2楼、3楼。
的维修性能
为方便日常保养工作,油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为延长油的补充期,采用了8~10.5L的可变油量。
用途
• 镀膜、溅射、离子镀。
• 气体置换、充填、真空隔热。
• 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
• 检漏装置、真空成形、真空铸造。
• 真装、真空吸附、搬送、其它。
ULVAC罗茨泵维修
PMB系列:PMB100D、PMB300D、PMB600D、PMB1200D、PMB2400D
PRC系列:PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018A
PMB-C系列:PMB-040C、PMB-060C
GLD系列油旋片式真空泵
特长
GLD系列是一种高性能、高质量、高可靠性的油旋片式真空泵。为了较好地提高散热效果,GLD系列产品在散热片部分进行了创新设计,从而实现了同类产品无可比拟的高真空。它还具有油位观察大,便于确认油污染状况、低震动、低噪音等优点。
用途
冰箱、空调、饮水机自动抽空线、照明理化学实验用、分析仪器用、激光应用机器、真空排气设备、电子显微镜的泵、半导体制造设备、溅射设备、真空镀膜设备、真空干燥器。
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