NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体(CVD、刻蚀等)。
• 排出非活性气体(溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。
• 用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
• 作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
PVD-N180(-1)/ PVD-N360(-1) 油旋片式真空泵
特长
稳定的排气特性
低噪音
装有气镇阀
通过打开气镇阀,可以将一定量的水蒸气从排气口排出,并能净化油箱内的真空泵油。
维修保养方便
结构简单,零部件数量少,复原性好,便于保养及检修,另外大油量型真空泵设有底部放油口和专门加油口,便于定期换油。
大油量型
采用大油箱后,能降低泵的油温,减少油的氧化和劣化,延长油的使用寿命。另外,对一般的真空装置来说,能降低吸入泵中的蒸气及粉尘所引起的油污染的程度,从而减少油更换的频率,降低使用成本。
用途
• 中央空调、照明、制冷。
• 冷媒灌注机、液晶注入机。
• 真空冷冻干燥、真装。
• 各种真空设备等相关行业。
Gatch系列皮拉尼真空计
显示器单元ISG1-N
本显示器为单通道显示器,与相应的规管连接后,可作为热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、隔膜真空计使用。与测量单元连接后,不但可显示测量压力,还可进行压力输出点的设定,能简单实现各种操作,且工作情况一目了然。通过显示器单元,可实现远程操作的控制及测量。另外,本显示器单元已通过CE,ROHS认证。
用途
• 可用于需要显示压力的真空设备。
• 可用于需要多个设**的真空设备。
• 可用于需要RS-485通信的真空设备。
特长
• 从大气压至5x10-8Pa均可显示。
• 3个设**信号输出。
• 输入电压:DC24V。
• 0~10V线性压力输出。
• 配备有标准的RS-485通信接口。
• 直观的LED显示。
• 各种单位可显示
• 已通过CE,RoHS认证。
VDN301 / VDN401 油旋片式真空泵
特长
实现了低噪音
由于彻底的低噪音设计和精密的加工,从而达到了低噪音化。
的保养、维修性能
因为能在真空泵与其他设备的连接管道不拆除的情况下,将泵的主体部分取下,所以清洗保养及油封等的更换变的非常容易。为使日常保养工作方便容易,油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为延长使用油的补充期,采用了1.0~2.5升可变油量方式。
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式。选用油雾过滤器、油回收装置及耐热密封件后,就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
用途
• 镀膜、溅射、离子镀。
• 气体置换、充填、真空隔热。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
• 分析仪器、检漏装置。
• 真装、真空吸附。
• 搬运、真空成形、真空铸造等。
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