特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内*用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。
按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
• MICRO二级COAX®真空发生器可能是世界上小的多级真空发生器,质量轻盈,在高速拾取和放置小型物体的应用中,可直接安装在吸点附近,降低损耗。
• MINI二级COAX®真空发生器拥有小巧的安装尺寸,MINICOAX®真空发生器则拥有较高的初始真空流量。
• MIDI二级COAX®真空发生器拥有小巧的安装尺寸,MIDICOAX®真空发生器则拥有较高的初始真空流量。MIDI真空发生器也具有的吹气功能,适用于大体积容器的快速排空。
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