上海伯东普发 ,Pfeiffer 真空泵在高精度表面加工中的应用
随着科技不断发展, 对工件加工的精度要求越来越高, 比如天文观测台运用的凹透镜, 在其生产过程中需要对透镜进行打磨和抛光, 达到 150 到 30 Nm 的精度. 实现这一精度**方法是使用离子束加工透镜及其他光学元件, 离子束加工具有可以控制, 污染少, 加工应力小, 热变形小, 加工表面质量高等优点. 这种技术可对外形进行准确的修正, 从而产生**高质量的表面.
离子束加工需要真空条件
离子束加工利用具有较高能量的离子束射到材料表面时所发生的撞击效应, 溅射效应和注入效应来进行不同的加工. 由于离子束轰击材料是逐层去除原子, 所以可以达到纳米级的加工精度.
离子束加工是在真空条件下先由电子产生电子束, 再引入已抽成真空且充满惰性气体的电离室中, 使低压惰性气体离子化. 由负极引出阳离子又经加速, 集束等步骤, 获得具有一定速度的离子投射到材料表面, 产生溅射效应和注入效应. 由于离子带正电荷, 其质量比电子大数千, 数万倍. 所以离子束比电子束具有较大的撞击动能, 通过微观的机械撞击能量进行加工. 昆山熙日普发, Pfeiffer 真空泵目前广泛应用于高精度表面加工应用中.
普发 ,Pfeifer 高精度表面加工客户案例: 某****生产各种规模离子束加工设备厂商, 其生产的设备不仅应用于天文学, 还用于 EUV 光刻技术和传统的光学应用. 其代表设备用于加工天文大规格透镜, 真空腔室配置罗茨泵组和分子泵, 在非常短的时间内提供 10-6 hPa 真空, 加工过程不会在表面上留下任何痕迹或张力, 并且几乎可以加工任何几何形状或材料.
Pfeiffer德国普发涡轮分子泵-分子真空泵领域的**
真空技术是制造高科技产品至关重要的一环。众多应用例如实验研究、工业等领域都需要一个的高真空环境。pfeiffer 涡轮分子泵依靠自身过硬的技术,在**范围内建立了统一的技术标准。pfeiffer 涡轮分子泵所有零部件全部德国原厂制造,保证每个产品继承德国优秀的制造工艺。英福康inficon、爱发科ulvac、岛津shimadzu、皖仪等世界**仪器厂商均采用 pfeiffer 涡轮分子泵。Pfeiffer 涡轮分子泵系列产品获得欧洲工业设计奖“红点奖”。涡轮分子泵 Pfeiffer Hipace 系列产品抽速范围10 l/s 至 2300 l/s,极限真空度可达10-11mbar,转子速率可达90000rpm。
Pfeiffer 涡轮分子泵优点:
1.免维护高性能涡轮分子泵,可配置小的前级泵,降低系统成本,模块化设计轻松满足客户多种应用需求
2.可提供360°任意角度安装方位,可提供防腐蚀特定型号
3.提供较长的分子泵维修间隔,可以现场更换分子泵轴承
4.标准的 RS-485 接线,可提供远程控制,集成可变频驱动(TC)及电源供应系统,*额外的控制
5.业界的半导体 Semi S2 及 IP 54 防护等级
6.涡轮分子泵 Pfeiffer Hipace 系列结构紧凑,占用空间小
7.集成,高效的冷却系统
Pfeiffer 涡轮分子泵应用:
伯东公司作为 pfeiffer vacuum 德国普发原厂授权的代理商,可协助客户选型并提供售后维修保养等服务。依托专业技能和服务意识,伯东与国内外众多科研院校和半导体、镀膜、工业等行业内**大企业签订长期合同。
客户案例一:**某**磁共振仪生产厂家(分子泵组对磁共振仪的射频线圈进行抽真空)
客户案例二:上海某研究所(进口PLD 脉冲激光沉积系统使用分子泵组 HiCube 80)
客户案例三:日本山形大学(涡轮分子泵应用于紧凑型加速器质谱系统简称 CAMS)
其他常见应用:
1.分析(质谱分析、电子显微镜等)
2.半导体(电子组件、集成电路、太阳能电池等)
3.光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)
4.镀膜(表面保护,装饰涂料,显示器,屏幕)
5.真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)
6.泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊
7.研究实验(医学核磁共振成像、核粒子物理,核聚变研究,激光应用和许多更多)
8.灯生产行业及相关
普发双级旋片泵维修是德国PFEIFFER普发真空泵的双较旋片泵,真空泵度较高,设计非常精密。普发真空泵维修说难不难,说易不易。必须要有专业操作人员才可以拆装。昆山熙日机械设备有限公司专业
维修普发真空泵,DUO2.5, DUO5, DUO10, DUO20;Hena25, Hena60, Hena100, Hena200, Hena300, Hena400,
Penta10, Penta20, Penta35,UNO2.5, UNO6, UNO20, UNO60
普发Pfeiffer双级旋片泵维修经过长期工作后出现故障一般是这几点:
1、真空泵转子卡死:
2、真空泵电机烧坏:
3、真空泵真空度不足:
4、真空泵运行温度过高:
5、真空泵运行声音大
【普发双级旋片泵维修质保】
、初步了解真空泵现状
备注:如有需要,会在24小时内派出专业技术人员赶赴现场确认真空泵故障)
第二、确定真空泵故障原因
备注:昆山熙日机械设备有限公司确认故障原因后,拟定出具体维修方案与周期、甲乙双方签定协议后,珠三角地区甲方安排人员上门提泵,其他区域客户可以选择物理快递)
第三、真空泵拆开报价
备注:为了让客户较清晰的知道维修费用,昆山熙日机械设备有限公司给出详细的维修清单及费用)
第四、确认真空泵维修
备注:客户同意维修费用后开始维修,维修后所换配件全部还客户)
第五、真空泵维修完毕后试机,一般测试时间是24小时。
备注:确保维修过后达到*的真空度和稳定性能,真空度达到出厂标准)
第六、配送真空泵上门安装调试
备注:在试机OK后24小时内,客户可当初验收真空泵,看试机运转效果)
PFEIFFER SPLITFlow310 3p 整体310比290的长度要长!可以抽的接口面积要da! SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。 为便携式分析系统开发的小型涡轮分子泵的抽速范围介于 10 l/s 到 0.1 l/s 之间。 涡轮转子都用单独一块铝合金整体加工而成,重量xiao化, 分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而*任何调整? SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。
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干泵维修保养使用时的安全注意事项
? 当维修干泵上方的主开关设置为“0”时,电源接口和主开关之间依然是带电的。如果接触的话会有触电的危险。在服务之前确保将主电源线断开。
? 针对P 和H 型泵。如果没有氮气流量将会造成严重危害,因此氮气流量需要由工艺设备进行监控,没有氮气流量时需要有信号提供给工艺设备,如必要还需要互锁。
? 如果**LEL(爆炸极限低点)含量的易燃物质进入干泵,那么氮气吹扫的流量一定要进行控制确保降低该易燃物质的含量至LEL 以下,同时工艺设备需要在干泵氮气流量太低或无氮气时停止工艺气体进入真空泵。
? 如果没有冷却水或冷却水流量不够对真空泵将会造成严重危害,因此冷却水流量需要由工艺设备进行监控。
? 如果工艺中有任何腐蚀性的,易反应的,易燃的或氧化性强的介质进入真空泵,则需要在排气口安装监控装置,确保当排气口不排气时停止工艺气体进入真空泵。另外,也需要当氮气流量不够时停止工艺气体进入干泵。
? 如果有易燃物质进入干泵,用户需要在排气口提供可以检测LEL 的装置(能够检测到25%的LEL 的仪表),当检测到易燃气体含量达到25%的LEL 值时停止进入真空泵的气体。
上海蓝宏电子提示注意事项:
? 干泵停机时,内部元件(监控系统,变频器)包含充电大于60 VDC 的电容,依然带电。接触有可能造成严重的伤害。在停泵后,等待1 分钟再打开真空泵。
? 氮气吹扫和冷却水管路都是有正压的危险能源。在服务之前请释放压力:
? - 对于氮气吹扫,断开氮气管路快速接头并顺时针关闭减压阀;
? - 对于冷却水管路,断开进水接头并保持出水管路连接。等待1 分钟后,断开出水接头。
? Alcatel 并不能控制进入真空泵的气体种类。通常,工艺气体是有毒的,易燃的,有腐蚀性的,易爆的或易发生反应的。由于这些气体可能会造成受伤甚至与死亡,因此将排气口连接到包含过滤装置或洗涤装置的尾气处理系统是非常重要的,以保证终的排放气体符合空气标准。
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? 泵的电机通过真空泵的电气箱内配置了过载保护 - RT1 开关(ADP 泵)和RT2 开关(罗茨泵),该互锁必须在安装,使用和维护时保证运行。一旦过载保护激活,则电源会切断,真空泵处于安全状态。当真空泵出错时,必须先将错误纠正然后再清除错误。要清除错误,需要将主开关关闭,打开电气箱并将相关保护开关重置为“1”。
? 干泵配置了紧停(EMO)回路。当紧停激活时,真空泵进入安全停机状态。若要外部使用,真空泵J1 接口上的两个干接点针脚1 和4 可以提供使用。真空泵的EMO 也可以通过J1 接口上的针脚2 和3 进行外部监控。
? EMO 回路由机电元件构成。对其复位将不会激活真空泵。
维修干泵的加油
? 警告!真空泵发运时并没有加油,油和泵分开发运。同样,建议客户在退回真空泵之前也将油排放。
? 真空泵出厂测试时使用的是Alcatel 113 合成油。
? 矿物油与合成油不能混在一起使用,我们建议用户依然使用该润滑油。
油位应当在油位视窗的一半
昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品**国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营: X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪;并提供优惠的真空泵配件(进口):油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳精片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片),视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格),风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油; 产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以的产品,的质量,的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。