SKY? CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C,具有的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用**纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性较佳、从大气恢复的速度较快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质,较具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
运用薄膜传感器技术,该产品可以提供近大气端的精确的绝压测量并能提供大气端真空腔室内精准的相对压力指示。*有的传感器设计消除了在高压力下影响热损失传感器特性的热效应。这种小型模块复合了全部四种传感器及控制电子器件于一个紧凑的一体化设计中,减少了腔室真空规管的需求数量并小化所占空间。全量程压力测量可以通过单一模拟量信号或可选的串行RS485或DeviceNet数字协议输出。RS485和DeviceNet版本产品可以多选择三个设**继电器用于工艺控制,可以在真空压力测量范围内设定任意压力值或者*相对压力值。
Granville Phillips Micro-ion真空规是世界上非常小的电离真空规,其压力测量基干带电电子与真空规管中气体分子碰括所产生的离子电流的量。通过多种改进,在小体积内**了高性能。这些改进包括获得**的双离子收集较设计,可以优化电子运动和离子收集。双灯丝限度地减少了计划外停机。由于有*二根灯丝做规管可以工作到定期维护时再更换。**清洁结构(包括所有组件的真空烧制和在洁净度100级的洁净室环境中的组装)确保在真空室抽气的过程中快速、可重复的响应。
应用
前级真空测量(低真空测量)
真空系统回路
电离真空计连锁应用
测真空的一般应用
特点
方便的 ATM 和 HV 按键调整,节省空间的坚固结构,铝制外壳,任何方位安装,不锈钢的真空测量室
易于集成的对数讯号输出,10bar过压, 用螺纹连接,250°C 烘烤型选项,腐蚀性应用的镍丝,陶瓷馈入件用于较强腐蚀性的应用中(PSG510 和 PSG512)
可选设**
RoHS 认证
应用
前级真空测量(低真空测量),真空系统回路,电离真空计连锁应用,测真空的一般应用
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时,通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够监控镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规,冷阴极用来监控小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程都在皮拉尼的监控之下,而冷阴极就可以被节省下来了,因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显着提高。如果想要直接在测试点检查压力值,还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到**高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品**国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营: X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪;并提供优惠的真空泵配件(进口):油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳精片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片),视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格),风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油; 产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以的产品,的质量,的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。