HPG400 大气压到高真空真空计
INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量,实现精确控制镀溅过程压力。
Bayard Alpert热阴极离子真空规
INFICON Bayard-Alpert热阴极离子真空规BAG050、BAG051、BAG052和BAG053,灯丝组件由钇丝-涂层铱和钨丝两种选择,与Inficon VGC083一起使用;也可兼容其他品牌厂商同类型控制器一起使用。
压力测量范围宽,从大气压至10E-4Torr
单独校准规管保证的测量性能
结构紧凑、坚固耐用,抗辐射和噪音符合CE认证
数字接口可用于与计算机控制系统通讯
运用薄膜传感器技术,该产品可以提供近大气端的精确的绝压测量并能提供大气端真空腔室内精准的相对压力指示。*有的传感器设计消除了在高压力下影响热损失传感器特性的热效应。这种小型模块复合了全部四种传感器及控制电子器件于一个紧凑的一体化设计中,减少了腔室真空规管的需求数量并小化所占空间。全量程压力测量可以通过单一模拟量信号或可选的串行RS485或DeviceNet数字协议输出。RS485和DeviceNet版本产品可以多选择三个设**继电器用于工艺控制,可以在真空压力测量范围内设定任意压力值或者*相对压力值。
Edwards新的Passive gauge真空规和控制器,专门补充目前Edwards Active真空计和控制器。这些真空计提供了一种广泛应用的压力测量解决方案,从**高真空系统到加工工业,或者在不可能使用Active真空计(如回旋加速器)的地方。
Edwards Passive系列真空规包括皮拉尼规,潘宁规和两个Bayard-Alpert离子计和Extractor离子测量计,可以测量大气至10-12 mbar**宽的压力范围。它们与被动式真空计计控制器(PGC)一起使用,显示压力,并为用户提供直观的界面,以及远程控制的能力。Edwards将提供2个控制器,PGC201支持测量从10-9至1000 mbar的压力范围,连接皮拉尼和潘宁真空规;以及范围较广的PGC202,测量10-12至1000mbar,连接皮拉尼和离子测量计。
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境,这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续监控真空状态,并使之持续维持在一个低位,以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体入口处的精确压力以及真空口处的精确压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体入口处和真空口处的精确压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接,以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来,以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行监控。另外,也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上,实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品**国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营: X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪;并提供优惠的真空泵配件(进口):油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳精片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片),视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格),风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油; 产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以的产品,的质量,的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。