随着电子元器件向微小化方向发展,液晶面板已经升级至*八代,行业需求非常巨大。
因此,必须将风速保持在0.3米/秒至0.5米/秒(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的范围里,以便使中断的单向流能快速恢复,充分稀释障碍物周围紊流区的污染。
从确保洁净室内相对湿度的精度而言,上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高,故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。
(1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减较快,扩散角度较大。
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