各种微生物的大小在于0.3μm。病毒是小的微生物,大约在0.005μm以上,其次是立克次氏体。种类很多,多数 在空气中以群体形式存在。常见的大小为5.5~6.5μm,为3.1~3.9μm,采用高效空气过滤器(0.5μm,过滤效率≥99.9%)基本 上可将它们除去。
洁净室控管
(1)能除去空气中飘游之微尘粒子。
(2)能防止微尘粒子之产生。
(3)温度和湿度之控制。
洁净室要求
(1)能除去空气中飘游之微尘粒子。
(2)能防止微尘粒子之产生。
(3)温度和湿度之控制。
(4)压力之调节。
(5)有害气体之排除。
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