双光束激光干涉仪/TFAnalyzer铁电分析仪/欣源科技（北京）有限公司

双光束激光干涉仪/TFAnalyzer铁电分析仪/欣源科技（北京）有限公司
双光束激光干涉仪 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)
双光束激光干涉仪专门用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。
这是世界上**台适合于从小尺寸薄膜到8英寸晶圆表征的双光束激光干涉仪。
半自动的系统用于8"晶圆上的MEMS器件的压电性和电性相关性能的测试。
大量样品测试的重复精度可达2%以上。
测试功能：
机电大信号应变、较化、压电系数、小信号介电常数。
疲劳和电性及机械性能可靠性。
样品测试：
较化曲线和位移曲线。
小信号电容及压电系数。
技术参数：
分辨率： ≤1 pm（X晶向的石英）
测量范围：5pm-  /- 25nm
波长：632.8nm
位移/应力测试：>50Hz，较小1Hz分辨率，100mV到10V（可选到200V）
压电d33系数：
  基电压100mV到10V（1mHz到1Hz），可选到200V
  小信号100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V测试：
  基电压100mV到10V（1mHz到1Hz），可选到200V
小信号100mV到10V（1kHz到5kHz）

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欣源科技（北京）有限公司，专门致力于把**的科学仪器和研究测试设备引进到国内科研及工业领域。
我们代理诸多世界*的分析测试仪器与材料制备设备，为广大用户提供专业化的技术咨询及售后服务，主要产品有： 

铁电压电材料分析设备：
铁电分析仪(铁电测试仪、TF2000E/TF3000、TF Analyzer 2000E/TF Analyzer 3000、较化测量仪)/压电分析仪(压电测试仪)/热释电分析仪(热释电测试仪)，压电材料综合表征系统aixPES、多铁材料磁电磁阻测试仪aixPES-MR、高低温块体压电分析仪aixPES-600/800、电卡效应测试仪ECM、热激发较化电流测试仪TSDC、**薄薄膜压电双光束激光干涉仪aixDBLI、陶瓷多层执行器测试仪(aixCMA、陶瓷多层驱动器测试仪、陶瓷多层电容器测试仪)，机电薄膜e31测试仪aix4PB、阻变式存储器测试仪RRAM、铁电迟豫电流测试仪aixPES-RX、铁电自放电测试仪aixPES-DR、铁电随机存储器测试仪FeRAM、热电性能测试仪COMTESSE(塞贝克系数测试仪)。

电子束能量分布测试制备：
电子束能量分布测试仪diaBEAM。

储氢材料测试设备：
储氢材料测试仪(贮氢材料测试仪、PCT测试仪、压力组分温度测试仪)。

微纳米加工制备：
电子束光刻(电子束曝光、电子束直写、EBL、E-Beam Lithography)、**高分辨率电子束光刻(EBL-UH)。

微波/射频等离子体相关设备：
微波发生器(微波电源)2.45GHz系列、微波发生器(微波电源)915MHz系列、等离子体源(Plasma Sources、微波头)、微波化学系列Microwave Chemistry、射频发生器(RF发生器、射频电源)、用于等离子体的直流电源DC系列、微波等离子体**水冷机系列、微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD/MPCVD）。

我们本着“科技与时俱进、服务以人为本”的服务理念，将不断地为广大客户提供针对性的优质服务，为中国科技的引进吸收到自主创新的新跨越、建设*科技强国作出贡献。

我们热诚欢迎国内外**的仪器制造商、科学工作者、区域代理商等与我们联系开展广泛的合作！