刻蚀是半导体制造工艺中的一个重要步骤,在半导体刻蚀设备中,等离子刻蚀机工艺腔和腔体内部件在刻蚀过程中会受到高密度、高能量的等离子体轰击而造成严重腐蚀,一方面会缩短部件的使用寿命,降低设备的使用性能,另一方面腐蚀过程中产生的反应物会挥发脱落,在腔体内产生杂质颗粒,影响腔体洁净度。**陶瓷材料具有较好的耐腐蚀性能,已被广泛应用于晶圆加工设备的耐等离子体刻蚀材料,通常采用高纯氧化铝涂层或氧化铝陶瓷作为刻蚀腔体和腔体内部件的防护材料。除此之外,等离子体刻蚀设备上采用的精密陶瓷部件还有窗视镜,气体分散盘,喷嘴,绝缘环,盖板,聚焦环和静电吸盘等。*十七届中国****陶瓷展览会;同期展会:粉末冶金及硬质合金展、磁性材料展、增材制造展、粉体加工展;展览面积将**过50,000平方米,中外展商约900家,参展品牌1500个,国内外观众预计将达到70,000人次。展会将于2025年3月10-12日上海世博展览馆隆重开幕;诚邀您莅临参观!“上海****陶瓷展”助力精密陶瓷产业高质量发展。2025年3月10日与你相聚上海,共襄行业盛会!3月10-12日华东**精密陶瓷及**陶瓷设备展
精密陶瓷部件的制备技术精密陶瓷结构件的制备首先根据产品特点选择符合一定化学和粒度的粉料,再根据产品形状使用一定的成型方法制备出坯体,通过烧结获得致密化的瓷坯,zuì后对瓷坯进行加工获得精密的陶瓷部件。*十七届中国****陶瓷展览会;同期展会:粉末冶金及硬质合金展、磁性材料展、增材制造展、粉体加工展;展览范围:精密陶瓷粉体及原材料。氧化物、碳化物、氮化物、硼化物等陶瓷成型烧结与精加工设备备料、制粉、混合、成型、烧结、干燥、热工、后处理、测量/控制、实验设备等各类**陶瓷产品和零部件。结构陶瓷、电子陶瓷、高温陶瓷、陶瓷轴承、陶瓷刀jù、光学陶瓷、陶瓷膜、陶瓷催化剂载体、生wù医用陶瓷、陶瓷基复合材料、人工晶体、耐火材料等陶瓷精密分析与检测仪器。粉末化学成分分析仪器、粉末物理性能分析仪器、合金性能分析仪器、合金微观组织分析仪器等。展览面积将**过50,000平方米,中外展商约900家,参展品牌1500个,国内外观众预计将达到70,000人次。展会将于2025年3月10-12日上海世博展览馆隆重开幕;诚邀您莅临参观!3月10-12日华东**精密陶瓷及**陶瓷设备展“上海**精密陶瓷展”聚焦*技术,展示品质产品,3月10日邀您相聚上海,共同见证盛会开幕!
在刻蚀之后的一个环节,也是所谓的芯片制造中hé心工艺之一“薄膜沉积”,薄膜常用于产生导电层或绝缘层、产生减反射膜提高吸光率、临时阻挡刻蚀等作用,不同功能的需求对应不同材料的薄膜,不同材料的薄膜需要采用不同的工艺和设备,按照原理不同可以分为物理工艺(PVD)和化学工艺(CVD)。薄膜沉积类似于刻蚀的逆过程,由于同样应用等离子技术等容易对腔体及部件造成腐蚀的技术,沉积设备中的室盖、腔内衬、沉积环、静电夹盘、加热器、电镀绝缘子、真空破坏过滤器等部件均采用了**陶瓷作为材料。目前应用材料、泛林和东京电子三大厂家在薄膜沉积设备领域都具备垄断地位。但由于北方华创和拓荆科技等部分国内企业在不断推进沉积设备,薄膜沉积是我国企业有望下一个**重要突破的hé心设备。*十七届中国****陶瓷展览会;同期展会:粉末冶金及硬质合金展、磁性材料展、增材制造展、粉体加工展;展览面积将**过50,000平方米,中外展商约900家,参展品牌1500个,国内外观众预计将达到70,000人次。展会将于2025年3月10-12日上海世博展览馆隆重开幕;诚邀您莅临参观!
发动机里的燃烧温度越高,产生的动力越大,燃料的效率也越高,氮化硅陶瓷、氧化锆陶瓷、碳化硅陶瓷等材料具有chāo强耐高温特性,*复杂的冷却系统,相比于金属,陶瓷发动机体积小、重量轻,它的热效率可达到约50%,能比金属发动机节省20%以上的燃料,环保节能。目前,陶瓷发动机是世界汽车研究的热点,其中陶瓷在火花塞、气门等部件已得以广泛应用。*十七届中国****陶瓷展览会;同期展会:粉末冶金及硬质合金展、磁性材料展、增材制造展、粉体加工展;展览面积将**过50,000平方米,中外展商约900家,参展品牌1500个,国内外观众预计将达到70,000人次。展会将于2025年3月10-12日上海世博展览馆隆重开幕;诚邀您莅临参观!业界精英云集2025上海**精密陶瓷展,为行业发展注入新动能。3月10日诚邀您莅临上海!
精密陶瓷制品,就是一个较多使用非金属材料的案例行业。通过各种材料配方的调配,经高温处理和后续的精密加工,可制备得到各类精密陶瓷制品。它们一方面保留陶瓷的“硬”的特点,另一方面又有了如韧性等特点。这些众多特点,使得它们在消费制品和工业制品方面都得到广泛应用。*十七届中国****陶瓷展览会;同期展会:粉末冶金及硬质合金展、磁性材料展、增材制造展、粉体加工展;展览面积将**过50,000平方米,中外展商约900家,参展品牌1500个,国内外观众预计将达到70,000人次。展会将于2025年3月10-12日上海世博展览馆隆重开幕;诚邀您莅临参观!展览范围:精密陶瓷粉体及原材料。氧化物、碳化物、氮化物、硼化物等陶瓷成型烧结与精加工设备备料、制粉、混合、成型、烧结、干燥、热工、后处理、测量/控制、实验设备等各类**陶瓷产品和零部件。结构陶瓷、电子陶瓷、高温陶瓷、陶瓷轴承、陶瓷刀jù、光学陶瓷、陶瓷膜、陶瓷催化剂载体、生wù医用陶瓷、陶瓷基复合材料、人工晶体、耐火材料等陶瓷精密分析与检测仪器。粉末化学成分分析仪器、粉末物理性能分析仪器、合金性能分析仪器、合金微观组织分析仪器等。*十七届中国****陶瓷展览会,3月10-12日与业内精英相聚盛会,共同探索精密陶瓷产业发展趋势!3月10-12日华东**精密陶瓷及**陶瓷设备展
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ELID磨削技术是将传统削、研、抛光结合为一体的复合镜面加工技术,具有*性、工艺简单、磨削质量高等特点,并且使用的磨削液为弱电解质的水溶液,对机床和工件没有腐蚀作用,装置简单,适合推广。但在磨削过程中由于修正电流的变化容易导致氧化层不连续,工件表面容易不平整,磨削工件容易产生烧伤、残余应力、裂纹等缺陷。*十七届中国****陶瓷展览会;同期展会:粉末冶金及硬质合金展、磁性材料展、增材制造展、粉体加工展;展览面积将**过50,000平方米,中外展商约900家,参展品牌1500个,国内外观众预计将达到70,000人次。展会将于2025年3月10-12日上海世博展览馆隆重开幕;诚邀您莅临参观!3月10-12日华东**精密陶瓷及**陶瓷设备展
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