PM材料 颜色:棕色 硬度(shore A):76 使用温度320℃ 不含金属系填冲材、高纯度 ,优异耐热性,耐等离子性 用途:半导体,FPD制造工序的成膜装置/灰化装置等 半导体 蚀刻/灰化 干制程 处理室内部部件 优异耐热性 高纯度 半导体 成膜(绝缘膜) 处理室密封 优异耐热性 高纯度 FM材料 颜色:白色 硬度(shore A):74 使用温度220℃ 优异耐等离子性,无碳、优异的机械属性 用途:半导体,FPD制作工序的蚀该装置 半导体 蚀刻/灰化 干制程 等离子蚀该装置 优异的耐等离子特性,耐机械特性 231B材料 颜色:黑色 硬度(shore A):75 使用温度320℃ 高温领域密封性能,寿命长,耐药性也优异(胺,蒸汽环境下要注意) 用途:所有需要有耐热性要求的部位 半导体 氧化/扩散 氧化扩散炉 优异耐热性 Max320度 半导体 电J/配线 溅镀装置 优异耐热性 Max 320度 251B材料 颜色:黑色 硬度(shore A):75 使用温度300℃ 优异的耐热性 耐药性(耐温300度) 用途:所有需要有耐热,耐药品要求的部位 半导体 蚀刻/灰化 干制程 舱盖密封 优异耐热性 和耐机械特性 半导体 氧化/扩散 曝G装置 优异耐热性 机械特性 半导体 电J/配线 金属CVD装置 优异耐热性 机械特性 252W材料 颜色:白色 硬度(shore A):75 使用温度300℃ 具有耐热性 无碳(耐温300度) 用途:半导体,FPD制造工序的蚀该装置等 半导体 蚀刻/灰化 干制程 入口阀 优异耐热性 耐等离子特性 PB-70材料 颜色:黑色 硬度(shore A):75 具有广泛的耐药品性、优异的耐低温性 用途:所有要求耐药品性的部位 半导体 印刷 光刻涂布-显像 药液生产线的密封 涂布机和试验 优良耐药品性,析出物少 半导体 蚀刻/灰化 湿制程 药液生产线的密封蚀该装置 优良耐药品性,析出物少 PW-70材料 颜色:白色 硬度(shore A):70 优异耐等离子性,无碳材料 用途:半导体,FPD制造工序的蚀该装置等 半导体 蚀刻/灰化 干制程 等离子灰化装置 优异的耐等离子特性