临沂**净室 送风量小

超净室装修净化原理是：气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→净化风口→吹入房间→带走尘埃等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程，即可达到净化目的。

超净室，温度45－65%；GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10%－30%；照度300LX。

超净室是指在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，净化工程而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化工程主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。 
　　超净室净化工程分类： 
1.乱流式(Turbulent Flow)：  
优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。  
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。  
2.层流式(Laminar)：  
　(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。  
优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。  
　缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。  
　(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。  
　优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。  
　缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。  
3.复合式(Mixed Type)：  
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

超净室环境保持

1.工作人员应首先做到保持个人清洁卫生，进入室内不要带贵重金属、装饰品及一切化妆品，所用记录纸应选用不起尘纸，记录笔用圆珠笔。工作人员每人少准备三套洁净服，供换洗及备用，洁净服每周应清洗两次，并与外衣分别设置存衣柜。超净室处应设置跨越式鞋柜及粘鞋垫。设备搬入室内前要用吸尘器或其它清洗方式清理干净。每天清扫超净室，包括地面、墙壁及工作台面。

由于春季风沙较大，因此，门窗应密闭，好采用双层结构。风淋室前后门不得同时开启，以防非净化空气污染净化工作区。设置循环净化送风系统是为保持室内洁净度达到规定等级。进入超净室前需更换洁净服及拖鞋，经风淋后方可入内。进入室内操作前20-30分钟，即应打开循环净化送风系统，下班后应将工件、工具等物品存放妥善后，停止净化送风系统。净化系统停止运行后，不应随便进入室内，以减少对超净室的污染。

2. 时常维护超净室环境的设备，使之处于良好工作状态是保证洁净度的前提。相应设备包括柜式空调机、风淋室、使室内洁净度达1000级的循环净化送风系统、洁净度达100 级的光刻区层流罩净化送风系统及净化涂胶台和工作台。循环净化送风系统为单机送风，使室内保持正压。送风形式为上送、侧下回，经初效、中效、过滤，设计风量3000m3/h , 风压410Pa。 风淋室设置于超净室处，用于吹除工作人员身上的浮尘，是进入室内的关口。风淋时，先设定时间，若需加热，可打开温控开关。根据需要调节喷口角度以提高风淋效率。

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