单晶硅圆片按其直径主要分为 6 英寸、8 英寸、12 英寸及 18 英寸等。单晶硅片具有显著的半导特性单晶硅具有较弱的导电性,导电性明显受光、电、磁、温度等因素的影响,电导率随着温度的升高而增加,有显著的半导电性。**纯的单晶硅是本征半导体。单晶硅是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的*。
单晶硅片的生产工艺流程:
1、单晶硅是从大自然丰富的硅原料中提纯制造出多晶硅,再通过区熔或直拉法生产出区熔单晶或直拉单晶硅,进一步形成硅片、抛光片、外延片等,直拉法生长出的单晶硅,用在生产低功率的集成电路元件。而区熔法生长出的单晶硅则主要用在高功率的电子元件;
2、直拉法加工工艺:加料→熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长,长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出,即完成一次生长周期。悬浮区熔法加工工艺:先从上、下两轴用夹具准确地垂直固定棒状多晶锭。用电子轰击、高频感应或光学聚焦法将一段区域熔化,使液体靠表面张力支持而不坠落。移动样品或加热器使熔区移动。这种方法不用坩埚,能避免坩埚污染,因而可以制备很纯的单晶,也可采用此法进行区熔。
单晶硅片是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的;其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等;由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势,近三十年来,太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展,成为世界、稳定发展的新兴产业之一;单晶硅片可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域,在电子设备中也占有重要地位。
单晶硅片的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料,随着国内和**市场对单晶硅片需求量的快速增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势;回收单晶硅指的是回收电池片、蓝膜片单晶硅和多晶硅等硅产品,这些产品在如今的电器中也是广泛用到的;而它们虽然都是废旧的硅材料,但是从某种程度上来说,它们都是成品,回收利用这些硅料,可以省去大量的加工过程。
单晶硅片在日常生活中是电子计算机、自动控制系统等现代科学技术中不可缺少的基本材料;电视、电脑、冰箱、电话、手表、汽车,处处都离不开单晶硅材料,单晶硅片作为科技应用普及材料之一,已经渗透到人们生活中的各个角落。
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