PEG100 中到**高真空真空计
INFICON 潘宁真空计 PEG100 可以提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现丝较烧毁的现象。由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议,将真空计轻松集成到真空系统中。
可选的输出信号,易于集成,可选大气开关、显示屏和数字接口,合规和标准:CE、EN、UL、CSA、RoHS
B-A规的测量下限由这类型规管的X射线极限决定。X射线极限因不同规管设计而不同。阴极**的电子与栅较及其支撑网碰撞产生X射线。由于BA规的几何结构原因,仅有一小部分**的X射线会被收集较收集。当X射线碰撞收集较丝时,收集较上会有光电子**。X射线电流限制了压力测量范围,使其等效压力下限到10-10或10-11Torr范围,取决于规管型号。早期的规管在栅较外有个柱状收集较,这种规管的X射线极限大约在10-8Torr。当气体非常稀薄且规管所获得的电流输出几乎全部都来源于X射线光电**时,X射线极限就决定了规管小压力测量值。
微处理器信号处理允许在皮拉尼和磁控管输出以及线性输出之间无缝转换(记录压力刻度)
D 型接口包括电缆应变消除和增强的灰尘防护 - IP44
低磁场型 (SL) 适用于敏感性应用,例如质谱分析和电子显微镜
可轻松编程的设**涵盖整个测量范围
磁控管使用的技术进行高度可靠的放电,即使在高真空或相对污染的环境下也无妨
自动为皮拉尼真空计元件进行真空设置
单一按钮大气设置
范围广泛、符合标准的内部电源可使用 +13.5 到 +36 V 的标准直流电,对电压波动有很好的承受力
0 到 +10 V 直流电压的标准模拟输出和真空计标识符允许轻松连接计算机或 PLC 和进行故障输出指示
nAIM支持串口信号输出:RS232/RS485
电极维修套件允许用户进行清洁和维护
特的放电器设计确保即使在高真空或污染环境下也可以快速放电
宽广的压力范围
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境,这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态,并使之持续维持在一个低位,以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接,以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来,以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外,也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上,实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品**国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营: X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪;并提供优惠的真空泵配件(进口):油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳精片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片),视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格),风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油; 产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以的产品,的质量,的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。