半导体酸碱制程用PFA清洗花篮高纯晶圆盒本底低耐强酸碱

PFA花篮

PFA花篮（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花蓝 ，特氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器，耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，能做激光雕刻，能够安装RFID。保持载体和物料的跟踪。
主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮，进入化学酸、碱蚀刻制程中，可搭配PFA把手使用。

二、参数
名称	规格	耐温性	应用

PFA花篮
PP Cassette
	2寸	-200~260℃	酸碱传输制程
	4寸		
	6寸		
三、特点
1.耐腐蚀：耐受强酸强碱
2.搭配可活动把手，用于晶圆芯片清洗运输
3.耐高低温：-200~260℃
4.耐绝缘：介电性能与温度、频率无关；
5.防污染：本底值低，金属元素铅铀含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，确保晶圆芯片无污染

7.化学性能稳定
公司拥有三十多年PFA制品生产加工经验，公司投入大量人力、物力致力于太阳能光伏相关产品的研发，截止目前，公司推出的光伏用--太阳能硅片花篮，太阳能硅片承载器,硅片花蓝,,半导体清洗花篮。

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主营产品：
生物医药化工类特氟龙耗材：PTFE/FEP/PFA容量瓶、样品瓶、洗瓶、量筒、烧瓶
前处理仪器&耗材：微波消解仪、全自动石墨消解仪、赶酸仪、高温加热板、各型号微波消解罐、高压消解罐、四氟消解管、四氟定制品
同位素分析仪器&耗材：酸纯化器、防腐加热板、器皿清洗器、PFA溶样罐、微柱、进样杯、地质溶样弹
半导体新材料新能源耗材：PTFE/PFA花篮、清洗槽、镊子、洗气瓶等