高纯气体用作氦气球、氦气飞艇的填充气体,以取代其有高度可燃性的氢气与高纯二氧化碳和高纯氮气一起用作二氧化碳激光切割机的激体,液氦用于核磁共振成像仪的**导磁体,跟医用氧气一起用于深海作业的呼吸气体,用作空调领域氦漏仪的检漏气体,跟高纯氩气一起用作焊接的保护气体,用作气相色谱仪/气质联用仪等仪器的载气。
高纯气体的主要用途
1、硅烷硅烷在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过气相淀积制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、生长磷硅玻璃薄膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料、以及离子注入源和激光器介质等,还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。
2、锗烷金属锗是一种良好的半导体材料,锗烷在电子工业中主要用于化学气相淀积,形成各种不同的硅锗合金用于电子元器件的制造。
3、磷烷主要用于**合成,在电子工业中主要用于硅烷外延的掺杂剂,磷扩散的杂质源。同时也用于多晶硅化学气相淀积、外延GaP材料、离子注入工艺、化合物半导体的MOCVD工艺、磷硅玻璃(PSG)纯化膜制备等工艺中。
高纯氮气的用途
(1)高纯氮气主要用途:化肥、氨、硝酸等化合物的制造,惰性保护介质,速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂,电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等,还用作标准气、校正气、零点气、平衡气等。
(2)高纯氮气应用于轮胎中,其渗漏轮胎胎壁的速度比空气慢约30-40%,能保持稳定胎压,提高轮胎行驶的稳定性,保证驾驶的稳定性,保证驾驶的舒适性,氮气的音频传导性低,相当于普通空气的1/5,使用氮气能有效减少轮胎的噪音,提高行驶的宁静度。
高纯氮气的特性
高纯氮气是常见的一种高纯气体,其几乎为惰性的双原子气体,化学性质不活泼,气体分子也比氧分子大,不易热胀冷缩,变形幅度小,应用该范围非常广泛。
高纯气体氦气是属于一种单纯性的窒息性气体。当人体一旦吸入过多的话,是很容易让人出现缺氧现象,让人出现窒息危险。而且如果是处在变声状态向周围人求救的话,还很容易被人当作是在开玩笑。
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