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氦气检漏仪能为不同的需求提供不同的测量方法，检漏仪系统的检漏仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。不但灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。检漏仪特点：1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；2.检测的介质比较常用，只需压缩空气即可；3，真空衰减法检漏设备生产厂家.不会受到主观因素判断的影响；4，真空衰减法检漏设备生产厂家.检测的数据精确；5.自动生成数据保存，真空衰减法检漏设备生产厂家，可追溯数据来源。检漏仪不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法。真空衰减法检漏设备生产厂家

检漏仪为什么选择氦气作为示踪气体？1. 氦在空气中及真空系统残余气体中的含量较少 (在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少, 因此本底压力小, 输出的本底电流也小. 正因为本底小, 由某些原因引起本底的波动, 亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来.灵敏度高.2. 氦的质量小 (相对分子质量为4) , 易于穿过漏孔. 这样, 氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大, 容易发现, 灵敏度高.3. 氦是惰性气体, 不与被检件器壁起化学反应, 不会污染被检件, 使用安全.4. 在氦两侧的是氢 (质荷比为2) 和双电荷原子碳 (质荷比为6) , 质荷比都与氦相差较大. 这样, 它们在分析器中的偏转半径相差也大, 容易分开. 定标找氦峰时, 不易受其他离子的干扰, 因此就降低了对分析器制造精度的要求, 易于加工. 同时, 分析器出口电极及离子源加速较的隙缝也可以加大, 使更多的氦离子通过, 提高了仪器灵敏度。真空衰减法检漏设备生产厂家检漏仪使用的方法取决于检验件的结构、检漏的经济效益和检漏系统的性质。

检漏仪待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa，灯丝不易被氧化脆断。在检漏过程中，当出现意外情况，系统突然暴露大气或真空度突然降低，导致大量的气体突然进入电离室，真空度≥1x10-1Pa时，灯丝电流急剧增大，灯丝被碳化，就发生了脆断现象。检漏仪灯丝寿命如何延长？由**分析已知，造成检漏仪灯丝脆断的原因：1.真空度低；2.灯丝电流过大；3.对灯丝有害的气体气压太高（氧化性气体、水蒸气、氢气）。那么，在使用中尽量避免灯丝在上述恶劣环境下长时间开启，或者说尽量提高灯丝的上述使用条件就可以有效延长检漏仪的灯丝寿命。如：1.使用中尽量将预置真空开关空挡；2.避免电离室泄入有害气体（氧化性气体、水蒸气、氢气）。

检漏仪的整体结构:一、质谱室,形象的说，质谱室是检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。二、真空系统,真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度较高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。检漏仪在高压容器空调制冷设备制造等领域，必须模拟具体工作条件进行检漏。

关于检漏仪的一些知识点：仪器的反应时间及清理时间，仪器的反应时间是质谱检漏仪的主要性能指标之一。检漏时，当氦气刚刚喷及漏孔处，即使不考虑氦气通过漏孔的时间，也不可能立即引起质谱室中氦分奢的急剧变化，也就是说不会立即引起输出电流的急剧变化，而要有一个过程。假定漏孔漏率为QHe，质谱室处对氦的抽速为SHe，质谱室至被检容器间的总容积为V，那么在dt的时间内漏入的氦气量为QHedt。它的一部分被抽走，另一部分在质谱室中建立起氦分压pHe（不包括本底）。被抽走的氦量为pHeSHedt，使质谱室容积V内氦压力升高dpHe时的氦量为VdpHe。因此有等式两边除以dt，并经移项整理后得到。检漏仪内部泄漏怎么处理？真空衰减法检漏设备生产厂家

检漏仪根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。真空衰减法检漏设备生产厂家

检漏仪漏率校准数据处理：漏率示值误差，漏率的温度修正标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃，所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致，需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算，并在测试结果中加以说明，修正方法如下：方法一：将标准漏孔证书中的漏率修正至实际环境温度下，用标准漏孔证书中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值；方法二：将标准漏孔漏率的检漏仪示值平均值修正至标准漏孔证书中环境温度下，用标准漏孔漏率的检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。此方法对检漏仪漏率部分进行校准，方法简单明了，便于实际应用，可操作性强，可以满足检漏仪漏率性能和使用要求，保证了检漏仪漏率量值准确可靠。真空衰减法检漏设备生产厂家

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