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*二部分、烘烤炉技术性能说明四:输送系统线体技术规格烤炉侧上下循环主输送线：37017L*1777.8W*800-1280H数量:1条1、输送线支架焊接框架结构，链条拖动滚筒输送方式;2、线体支架采用8#槽钢支架焊接,表面油漆处理;3、线体横梁支架8#槽钢制作，与支架螺丝连接固定。4、输送滚筒采用镀锌滚筒，一端配置双链链轮传动;5、滚筒上安装导向轮边，直径120MM,滚筒间距266.7MM;6、滚筒之间传动采用12A滚子链条传动7，吴中区半导体工业烤箱商家、烤炉内输送宽度:810MM,滚筒总长约1631MM;8、烤炉内滚筒线动力按照6米段分布，共分为6段动力;9、动力采用0.37KW齿轮减速马达驱动，动力布置在烤炉外侧;10，吴中区半导体工业烤箱商家、电机使用欧邦/东元马达，马达配套减速机使用，吴中区半导体工业烤箱商家。11、滚筒线输送速度约5米/分钟，可以采用变频调速。下图为烤炉侧滚筒线的端面图（含烤炉炉体）干燥炉及隧道炉生产厂家。吴中区半导体工业烤箱商家

尾气处理：多余的HMDS蒸汽（尾气）将由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**废气收集管道。在无**废气收集管道时需做专门处理。设备配置试验室用电源设备及注意事项电源：AC220V50Hz电压允许变动范围：额定值的±5%（但是可运行的范围为±10%）（2）较大负荷容量：3KW（3）较大电流：15A（4）放置箱体时注意与墙面距离应大于300mm。特别要求：文档到*的网络路径：透过txt或者csv抛档案到ip位置路径。然後他生产使用量监控要求：通过流量计+电池阀延时控制，量化气体，控制成本。剩馀量是从药水那边的液位监控,低位报警。HMDS药液流量需可卡控上下限，**出范围报警提醒，机台抛档使用TXT格式，数据：HMDS药剂流量，温度、压力、作业批号、作业人员工号、作业开始时间、结束时间、报警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下货放cassette在机台上的高度/备注cassette放置于设备前方或左右侧）芯片传送方式：（具备cassetteincassetteout)上下货门需要能自动感测开启程序自动调档：（当cassette至于上货平台即能扫档带出该批货的程序自动执行）软件支持SEMI自动化标准SECS/GEM通讯接口盐城无氧化工业烤箱价钱网链式还原气氛隧道炉。

烘箱项目名称内容主要技术参数内胆尺寸宽2000*深2000*高2000mm外形尺寸（约）温度范围室温～205℃仪表精度≤±1℃温度均匀度205℃≤±5℃（空载恒温测试）电源配置三相五线，380V，50Hz二次配1.电源引线：由客户自备；2.外排风管：由客户自备。箱体结构特征外壳材料采用质量钢板，焊接折弯制作。水性防腐漆涂装。内胆材料采用质量不锈钢SUS201#板，焊接折弯制作。箱体骨架1.采用角铁加强制作，保持箱体内外各个面的承载强度；2.保留热胀冷缩系数，可防止箱体变形。保温材料采用100K加密型硅酸铝保温棉，具有不可燃烧，隔热性强等特点，厚度为100mm。密封材料密封条采用硅胶条制作，可耐温不变形。换气装置箱体上部设有进气口、排气口，口径为75mm”。门手动双开门，两侧安装镀铬加强型合页，可防止门下垂，操作方便。电控箱电控箱安装在箱体右侧，方便操作。凹槽烘箱底部设置4根凹槽，可同时放置2部小车，方便小车进出烘箱。（小车由客户自备）控制系统循环马达及风叶采用运风马达2台，配多翼式风轮2套，经过动平衡矫正及风速静压之测试、共鸣之测试完成；采水平送风循环方式，两侧吹风，中间回风，有效保证均温。

五.加热系统:1.采用正英燃烧机，均布式平面布局，保证均温性.2.完全单独系统，不影响控制线路.六.电路控制系统:1.PID温度控制器。2.温度传感器采用KTYPE.3.无熔丝电源开关，铁线槽坚固耐用.4.控制系统附电源灯、风车指示灯，加热指示灯…….七.安全保护系统:1.附有中国闽台东元无熔丝保护开关.2.**温控制**过设定较大值,自动断电.3.控制器**温控制接点+蜂鸣.4.控制线路电源加装保险丝.5.大屏显示烘烤温度和步进速度显示（包括效率显示，绩效大显示屏），与PLC连线接入八.品管:1.重要五金配件（台系或日系品牌）.2.电控元件（台系或日系品牌）.3.生产物料经严格检验后入仓,投入使用.4.设备制造过程中,由工程师现场监制,质量有**.九.环保:1.采用质量环保保温制品.环保,无污染.2.噪音小.3.涂料中不含铅等有害成分成份.非常感谢您的询价，以上是我司规划设备的资料。希望早日得到您的确认，如有任何问题，请联系我们。圆型钟罩烧结炉 2. 用 途 铜金属基材热导管烧结、退火热处理用。

安装和培训：13-1.安装u供方将提供地基图和水、电接口图给用户。u工业用电：控制柜**部接头（一次电电缆线客户处理，并接线至设备电箱）。u需方安装现场提供与该设备匹配的电接口，便于安装调试。u供方在需方现场安装调试设备并交付使用。13-2.培训u安装期间，供方在安装现场为需方操作者提供培训，培训包括正常操作、维修保养、操作问题的分析和紧急故障的处理程序。u设备出厂经需方预验收合格。十四、设备验收：14-1.预验收u预验收在供方进行。u一般检查：看设备的实物布局是否合理，外观质量与基本功能是否符合技术要求，设备的管线连接是否坚固。u安全检查包括：机械、电器故障显示、检测、报警等各种保护功能的检查。u设备空运转检查：空运转6小时期间不能出故障。14-2.终验收14-2-1.终验收在需方的车间内进行。设备到达需方车间就位后，供方须派专业人员到需方现场进行调试，同时完成终验收工作。14-2-2.终验收的程序如下u同初验收内容,设备运转时间延长至三个工作日大型精密送风循环烤箱。吴中区半导体工业烤箱商家

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以上图作为参考示意，实际制作依后续设计为准。两侧衔接缓冲滚筒线：1000L*1048W*800-1280H数量:2条1、输送线支架焊接框架结构，链条拖动滚筒输送方式;2、线体支架采用8#槽钢支架焊接,表面油漆处理;3、线体横梁支架8#槽钢制作，与支架螺丝连接固定。4、输送滚筒采用镀锌滚筒，一端配置双链链轮传动;5、滚筒上安装导向轮边，直径120MM,滚筒间距257MM;6、滚筒之间传动采用12A滚子链条传动7、输送宽度:810MM,滚筒总长约960MM;8、动力采用0.37KW齿轮减速马达驱动，动力布置滚筒下方;9、电机使用欧邦/东元马达，马达配套减速机使用。10、滚筒线输送速度约5米/分钟，可以采用变频调速。下图为参考端面示意图以上图作为参考示意，实际制作依后续设计为准。两端升降滚筒线：1000L*1048W*800-1280H数量:2套1、升降装置采用方管焊接框架结构方式。2、升降导向立柱采用80方管，与框架焊接成整体。3、导向轮采用度尼龙轮，强度好耐磨性优。4、轴承采用国家质量品牌哈尔滨轴承。5、升降采用链条升降方式，运行平稳。6、升降动力齿轮减速马达驱动。7、输送线结构同滚筒线输送线结构。升降装置样式参考下图吴中区半导体工业烤箱商家

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