2路质量流量计500w等离子清洗机

质量流量计桌面小型500W等离子清洗机，

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有*四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性

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质量流量计桌面小型500W等离子清洗机KT-Z5KQX



供电电源

AC220V（AC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

射频电源功率

500W可调

射频频率

40kHz

耦合方式

电容耦合

真空度

≤30Pa

腔体容积

5L(内径 152mmX 深度 280mm)

载物规格

125mmX260mm

气体流量

0—50ml/min（其他量程可选）

气体路数

2 路质量流量计+精密流量控制阀

过程控制

自动控制

清洗时间

手动开关

开盖方式

铰链侧开式法兰

真空室温度

小于65°C

外形尺寸

450x450x250mm

冷却方式

强制风冷

标配

KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本，机械泵一台