科晶SP-50KT/SP-85KTC 温控型真空感应熔炼炉系列

 性能指标和基本配置

型号	SP-50KT	SP-85KTC
感应电源	● 工作电压：380V，50Hz，三相 ● 空气开关：需要100A空气开关 ● 输入功率: 15KW ● 输出频率:30-80kHz ● 保护系统：带有自动水压、过热、功率过高保护
温控系统和热电偶	● 精密数显温控系统，采用PID调节方式 ● 可设置30段升降温程序 ● 带有过热和断偶保护 ● 控温精度：±5 ºC ● 热电偶: C 型热电偶 (Φ6.35x400mmL ) ● 连续工作温度.: 1000ºC~1900ºC ● 高温度：2000ºC（<30min） ● 升温速率: 1度/秒    1000-1200ºC； 1度/2秒  1200ºC-1500ºC ； 1度/4秒  1500ºC-2000ºC
石墨坩埚，耐火材料和防护罩
	● ·高纯石墨坩埚:50mm(内径) * 40mm(外径) *110mm（深）,坩埚是用来感应加热和熔化金属	● 高纯石墨坩埚:114mm（内径） * 100mm（外径） *142mm（深），坩埚是用来感应加热和熔化金属
	● 容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2	● 容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2
	● 可熔炼物料的质量：多0.6Kg（按纯铁的密度计算）	● 可熔炼物料的质量：多4Kg（按纯铁的密度计算）
	● 可选:为对晶片热处理，可定制石墨样品台，可放置晶片尺寸为1.5&＃39;&＃39;O.D * 1/8&＃39;&＃39;T，因为石墨导热率非常高，所以可使放置的晶片受热均匀
	● 保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡，总厚度为32mm，石墨保温毯（可耐温2200℃）氧化铝毯（耐温1700℃）	● 保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡，总厚度为32mm，石墨保温毯（可耐温2200℃）氧化铝毯（耐温1700℃）
	● 注意: 石墨坩埚是易耗件	● 注意: 石墨坩埚是易耗件
密封法兰和石英腔体
	● 两端开口的石英管尺寸：130mm(OD) * 122mm(ID) * 360mm(L)	● 两端开口的石英管尺寸： 216 mm(OD) * 208 mm(ID) * 500mm(L)
	● **部法兰: 采用不锈钢铰链法兰，带有一1/4”的铠装接口（可插入热电偶到石英管内部较准确地测量样品温度）法兰上安装有不锈钢截止阀	● **部法兰:采用不锈钢折叠式法兰，带有一1/4”的铠装接口（可插入热电偶到石英管内部较准确地测量样品温度）法兰上安装有不锈钢截止阀
	● 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接	● 底部法兰:底部法兰接口为KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接
	● 仪器中配有KF25挡板阀和KF25的波纹管，以便与真空泵相连接	● 仪器中配有KF25挡板阀和KF25的波纹管，以便与真空泵相连接
真空计	● 防腐真空计,测量范围3.8*10E-5托 ● 一个输出电压24v、1A直流电源适配器。适配器的输入电压是单相110~240v。
浮子流量计	紧凑型直读浮子流量计，100-1000scc/min。精度:4%。
泄压阀	为了安全考虑，在腔体内安装泄压阀，当压力大于0.02MPa时，阀门会自动释放压力，保证安全。
循环水冷机（选配）	● 温度范围：5～30℃ ● 水流量：16L/min ● 水箱：不锈钢材质，容积为12L 注意：建议使用特定的冷却液以获得佳性能。在几次加热试验后，等待几分钟冷却属于正常现象
真空泵（选配）	● 标配一个2.2L/s的双级旋叶片真空泵 ● 电压：AC 208-240V 50Hz,单相 ● 功率：0.4KW 另有多种真空泵，详情请点击下图选择
产品尺寸	整体机器外形尺寸：700（L）* 1300（W）* 1200（H）
净重	100Kg
应用	● PVT(物理蒸气运输)系统通过改变一个合适的坩埚，使其能够成为生长长型碳化硅晶体，请点击下面的图片或问我们的工程师如何 ● 此设备可改为RTP（快速热处理炉）和混合物理化学气相沉积（HPCVD）系统，请点击下面的图片查看，如您有任何特殊需求可联系我们
注意事项	● 为了保护石墨坩埚和C热电偶，在整个实验过程必须在流动惰性气氛环境中进行。气体流量应限制在<200SCCM ● C型热电偶是耗材，不在我们的保修范围内 ● 熔融时间和温度与材料、坩埚、耐火材料绝缘等有关。如果你不知道感应加热器是否能熔化你的样品，请联系我们的工程师咨询 ● 感应熔融系统的设计是在真空和低压下使用<0.02 Mpa / 0.2 Bar/ 3psi ● 必须在气缸上安装减压阀，将压力限制在3psi以下，以保证安全运行。 ● 当出气口关闭，炉腔内存在正压状态时，不要加热炉子。在加热过程中，必须使用压力表来密切监测室内情况;一旦燃烧室压力**过3psi，请立即打开气体释放阀门，以防止不可预见的损坏
认证	如果客户需要通过MET认证，需自行支付认证费用，具体价格请联系我们的销售代表 认证标准包括:1感应加热器:UL61010-1 & UL499;2真空泵:UL1450;3冷水机组:UL61010 & UL1995
保修期	一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。

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