产品型号
2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2
主要特点
1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。
2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布。
3、磁体表面涂有保护层,以防止冷却水的腐蚀,延长其使用寿命。
4、标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配。
5、安装采用标准真空接头,便于操作。
6、靶材更换较为简单,*调整溅射头的高度。
技术参数
1、阳极护罩直径:Ø3.5"
2、所用靶材:直径2"(50.8mm),非磁性靶厚度1/4",磁性靶厚度1/16"
3、磁铁:NdFeB稀土永磁体
4、靶材利用率:30%
5、所需功率:DC1000W,RF500W
6、溅射电流:3A
7、溅射电压:100V-1000V
8、溅射时腔体真空度:5mtorr-100mtorr
9、溅射均匀性曲线
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