合肥科晶1200℃多坩埚依次移动型管式炉OTF-1200X-II-ZL

性能指标和基本配置

开启式管式炉	● 双温区管式炉：两个独立的温控系统分别独立控制两个温区 ● 加热区长度：温区1:200mm, 温区2:200mm ● 炉管材料：高纯石英 ● 炉管尺寸：外径: 60 ×内径: 54×长: 760 mm ● 温度曲线图(两个温区设置在800℃时所测，仅供参考） ● 工作温度：1200℃（<1hr) ● 连续工作温度：1100℃ ● 控温精度：+/-1℃
真空密封	● 配有不锈钢密封法兰，上面安装有不锈钢截止阀和机械压力表 ● 进气端法兰接口为Φ6.35卡套接头，出气端法兰接口为KF25接口 ● 法兰密封圈采用水冷却，使用时需要通入冷却水，可在本公司选购循环水冷机 ● 真空度：10E-2 torr（采用机械泵），10-E5 torr(采用分子泵)
坩埚移动机构（转轮式法兰）	● 一根铠装热电偶通过左端法兰通入到炉管内部，并与坩埚相连接(图1) ● 通过步进电机驱动使坩埚移动，并和热电偶和坩埚一起移动，实时监测样品的温度 ● 进气端法兰转轮式法兰（图2） ● 可同时在转轮系统中放入4个坩埚，可交替将放入4种材料的石英坩埚自动送入到石英管中（可在真空状态或气氛保护状态进行运作）
坩埚移动控制	● 通过一步进电机控制坩埚移动的速度和位置 ● 可控制坩埚小移动位移为1mm ● 坩埚移动距离为200mm
防腐型数显真空计	● 配有一数显防腐型真空计 ● 当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换 ● 对于气体的压力检测具有较高的精确度和重复性 ● 因为传感器上镀有涂层，所以具有较好的抗腐蚀性 ● 测量范围：3.8x10-5 -1125 Torr
混气系统	● 此套设备中配有一2路混气系统 ● 输出功率：18W ● 工作温度：5-45℃ ● 气压：3×106Pa ● 精度：±1%FS ● 质量流量计量程： ● 1:0-100sccm ● 2:1-199sccm ● 可根据客户要求选购1-5路供气系统
产品尺寸	2400L×600W×1300mm H
质保	一年质保期，终生维护（不包含炉管，密封圈和加热元件）
质量认证	● CE认证 ● 所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证 ● 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
使用注意事项	● 炉管内气压不可**0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会较加精确安全 ● 当炉体温度**1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ● 石英管的长时间使用温度＜1100℃ ● 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）
应用注意事项	● 此款管式炉具有多种用途 ● 热蒸发：把蒸发料放在坩埚里，通过移动坩埚来精确找到所需要的蒸发温度 ● HPCVD：和热蒸发相似，可通入反应气体与蒸发的物料反应后再沉积 ● 可用于制作多层二维晶体
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