技术参数
名称型号 快速升温炉OTF-1200X-4-RTP-130 产品特点 红外加热,升温速率50℃/S 4英寸基片都可以放入退火
法兰安装在滑轨可以直接推拉,实现快速降温。
可以选配压缩波纹管在气氛环境下冷却
加热炉系统 输入电源 AC 380V 50HZ,功率:24KW 工作温度:900℃(<30min),长期工作温度:800℃
控温热电偶:进口K型热电偶,紧贴在放样品ALN片下(ALN片为标配,可按照客户要求定制不同材质基片)
加热元件:红外灯管12根短波红外灯管,每根2KW加热区尺寸:Ф210mm*320mm
室温至900℃:建议升温速率10℃/s升温速率50℃/s降温速率:800℃-350℃降温速率55℃/min 350℃-200℃降温速率5℃/min(在一个大气压下,样品架在炉子内)
降温速率:800℃-350℃降温速率200℃/min 350℃-50℃降温速率35℃/min(在一个大气压下,样品架拉到炉体外)标配浮子流量计:16-160ml/min
石英管外径130mmx内径120mmx600mmL包含一款808P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃)
PID自动控温系统智能化30段可编程控制
控温精度:±1℃默认DB9PC通信连接端口
不锈钢密封法兰系统 水冷密封法兰,密封法兰和腔体法兰之间采用硅胶O型圈密封方式。 左端法兰装**械压力表和进气截止阀,左边炉体上留有进气口,进气时,气体通过浮子流量计后进入法兰进气口,然后进入炉管内。
左端法兰内侧有石英制隔热挡板。
右端法兰上装有出气截止阀,一个KF25接口用于抽真空,一个1/4英寸双卡套接头用于插入热电偶。右端法兰内侧有石英制隔热挡板和样品支架,热电偶测温点位于样品正下方。
右端法兰安装在滑轨上可以直接推拉,实现快速退火。
水冷机(选配) 型号:KJ-5000 工作电压:AC 220V 50HZ
工作电流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h
压缩机功率:300W,水箱容量:6L
流量:16L/min,净重:24Kg
真空系统(选配) 配套机械泵,真空度可以达到10-2ttor 配套分子泵,真空度可以达到10-5ttor
产品尺寸 外形尺寸:1100*700*660mm(长*宽*高 法兰关闭) 外形尺寸:1400*700*660mm(长*宽*高 法兰打开)
外形尺寸:1100*700*950mm(长*宽*高 炉子打开,法兰打开)
重量 约100kg 保质期 1年(不包含炉管,氟胶O型圈和加热元件等损耗件) 使用注意事项 石英管内气压不可**0.02MPa; 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力**0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会较加精确安全;
对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责。
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