分子泵组 涡轮分子泵 机械泵 前级泵 抽真空泵

分子泵是一种高真空泵，主要用于将气体从室内抽出以建立高真空环境。它的工作原理是利用转子旋转产生的高速涡流和靶材表面激发的离子来吸附气体分子并将其排出。分子泵的性能取决于几个关键因素，如几何形状、转子材料、转子速度和真空系统其他部件。以下是分子泵的组成部分和原理：

转子：转子是分子泵的**部件，通常由金属材料制成，如铁、钴等。转子旋转时，会产生高速涡流和靶材表面激发的离子，这些因素都有助于气体分子的吸附和排出。

安装板：安装板是分子泵的另一个基本组成部分，用于安装转子。安装板通常由陶瓷、金属或塑料制成。

电机：电机是分子泵的驱动力，通常是一个永磁同步电机或一个交流电动机。

轴承：轴承支撑和控制转子的旋转，以确保转子的稳定性和顺畅性。

触发器：触发器是用于激发离子的设备，通过喷射离子束来刺激转子表面并增加气体分子的吸附和排出。

在分子泵操作中，气体从室内进入泵体，然后被吸附在转子表面，随着转子的旋转，气体分子受到离子激发和惯性碰撞等作用从转子表面脱离，被推送到泵的出口，并较终被抽出真空系统。分子泵通常用于高真空或**高真空环境下，例如在电子显微镜、X射线衍射和薄膜沉积等应用中。