半导体晶圆研磨抛光用氧化铝粉 不易产生划痕 具有良好的平行排列性

平板氧化铝粉是以工业氧化铝粉为主要原料，通过特别处理，高温控制晶粒生长方向，颗粒呈特别的平板状结构，硬度高，磨削力强，不易产生划痕，是一种常用的抛光研磨磨料，具有化学惰性，优异的耐热性，耐酸碱腐蚀性。
平板型氧化铝研磨抛光微粉的用途：
1、电子行业：单晶硅片、压电石英晶体、化合物半导体的研抛；
2、玻璃行业：硬质玻璃和显象管玻壳的加工；
3、涂附行业：特种涂料和等离子喷涂的填充剂；
4、金属和陶瓷加工业。

平板状氧化铝粉的特点为：
1、形状为平板状，即片状，使磨擦力加大，提高了磨削速度，提高了工效，因此可减少磨片机的数量、人工和磨削时间；
2、由于形状为平板状，故对于被磨对象(如半导体硅片等)来说不易划伤，合格品率可提高10%至15%左右；
3、由于硬度比普通氧化铝研磨抛光微粉高，故用量比普通氧化铝研磨抛光微粉要少，如果磨同样数量的产品，其用量比普通氧化铝研磨抛光微粉要节约40%至50%左右；
4、由于平板型氧化铝研磨抛光微粉的优良性能，故加工的产品合格品率高，质量稳定，生产成本只有原来的50%- 60%左右。

平板氧化铝粉晶体形状为六角平板状，区别于传统磨料的等体积或者球形，此形状使得磨料颗粒在研磨过程中平行于
被加工工件(如半导体硅片等)表面，产生滑动的研磨效果，而非传统的磨料滚动研磨，因而不容易对工件表面产生划
伤，同时因为研磨压力是均匀分布在平板颗粒表面，颗粒破碎减少，耐磨性大幅度提高，因而能提供很好的磨削效率,
因此可减少磨片机的数量、人工和磨削时间，对于被磨对象来说不易划伤，台格品率可提高，平板氧化铝粉特别适合研磨、抛光半导体单晶多晶硅片、显像管玻壳玻屏、水晶、石英玻璃、硬质玻璃、光学玻璃、液晶显示器(LCD)玻璃基板、压电石英晶体、化合物半导体材料、精密陶瓷材料、蓝宝石等。

平板状氧化铝粉采用特别的生产工艺，使其颗粒尺寸较均匀，平板状氧化铝粉的晶体形状为六角平板状，区别于传统磨料的等积型或球形，这种形状使磨料颗粒在研磨运动中平行于被加工工件表面，产生滑动的研磨效果，而非传统磨料的滚动研磨，因而不容易对工件表面产生随机划伤，同时，由于研磨压力是均匀分布在平板状磨粒表面，颗粒破碎减少，耐磨性大幅提高，因而能提供较好的磨削效率和表面光洁度，平板状氧化铝粉研磨粉能够减少研磨和拋光次数至少10- 20%，能够实现快速研磨和抛光。
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