SC-SP-I桌面型双通道泵

SC-SP-I桌面型双通道泵

主要参数	指标
通道数量	2
较大行程	140mm
行程分辨率	0.156μm
线速度范围	10μm/min-65mm/min
线速度调节分辨率	10μm/min
行程控制精度	误差≤±0.5%
额定线性推力	＞90N
掉电记忆	有

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