泰克|keithley 4200-SCS半导体参数分析仪-电流电压曲线测试

主要性能指标

I-V 源测量单元(SMU)

• ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

• 100 fA测量分辨率

• 选配**放大器提供了 10 aA测量分辨率

• 10 mHz - 10 Hz **低频率电容测量

• 100 μF负载电容

• 四象限操作

• 2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元(CVU)

• AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

• 1 kHz - 10 MHz 频率范围

• ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)

• 选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V **快速脉冲测量单元(PMU)

• 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道

• 200 MSa/s，5 ns 采样率

• ±40 V (80 V p-p)，±800 mA

• 瞬态波形捕获模式

• 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元(PGU)

• 两个高速脉冲电压源通道

• ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA

• 任意波形发生器 Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)

• 在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换，*重新布线或抬起探针

• 把 C-V测量移动到任意端子，*重新布线或抬起探针远程**放大器/ 开关模块(RPM)

• 在 I-V 测量、C-V 测量和**快速脉冲 I-V 测量之间自动切换

• 把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安

• 降低电缆电容效应

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