武汉LED蒸镀机 苏州方昇光电供应

真空镀膜机的维修方法介绍：当正在镀膜时真空度突然下降：1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）；2、坩埚被打穿（更换坩埚）；3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）；4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）；5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）；6，武汉LED蒸镀机、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）；7，武汉LED蒸镀机、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）；8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）；9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）；10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）。真空镀膜机本身是一个复杂的系统，武汉LED蒸镀机，包括真空、自动化、机械等多个系统。武汉LED蒸镀机

真空镀膜机基本技术要求如下：1、真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管，分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时，应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。4、设备的镀膜室应设有观察窗，应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率，提高镀膜材料的利用率，合理匹配沉积源的功率，合理布置沉积源在真空室体的位置。6、合理布置加热装置，一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。7、工件架应与真空室体绝缘，工件架的设计应使工件膜层均匀。8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源，离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置，维持稳定。武汉LED蒸镀机真空镀膜机的油要定期更换。

真空镀膜机扩散泵维修与保养：1、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用清水进行擦洗，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。2、待水分挥发干以后装好泵芯，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。3、在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好真空室门，数分钟后，观察真空度是否6*10的0帕，否则要进行检漏，检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。

真空镀膜机怎样除尘？1、粗除尘（金属网除尘器），金属网除尘器的基本版本是钢屑过滤器，其结构比较简单，是一种结构简单的装置，将金属切削屑装入金属丝网袋中。安装在镀膜真空室的管道出口处，便于取出和推进。这种除尘器的尺寸一般为20-60厘米。其工作原理是依靠芯片的机械阻隔作用，可以起到去除灰尘中一些较大颗粒的作用，同时也有一定的冷却效果。在后来改进的金属网除尘装置中，在储油器中安装了部分泵油，这样气流中的大部分粉尘颗粒就可以在油中被去除，而没有粘附在油面上的粉尘颗粒则被金属网除去。2、精细除尘（油膜除尘器），真空镀膜机气缸内装有带孔的多层金属膜片，膜片上装有金属或陶瓷环，气缸上装有带循环油泵的喷油环喷嘴，使气流经过时灰尘能被油膜附着。不仅具有良好的除尘能力，而且具有良好的气体冷却效果。真空镀膜设备使用的源材料要符合纯度要求。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，然后形成薄膜。真空镀膜机的一个重要组成部分是采用扩散泵抽真空。兰州蒸发真空镀膜机

真空镀膜机每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。武汉LED蒸镀机

真空镀膜机的保养：每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法：用**（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触**溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。武汉LED蒸镀机

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