真空镀膜机有哪些类型及其原理?常见的真空镀膜设备按其工作原理可分为蒸发绕线镀膜、磁控溅射绕线镀膜和组合绕线镀膜。蒸发式卷绕膜涂覆设备根据蒸发过程可分为连续、半连续和间歇三种,因设备结构的不同也可分为:单室、双室和多室卷绕膜涂覆设备。主要用于塑料、布、纸、钢带等带材表面的真空蒸发膜,作为食品金属化包装材料、反光材料、保温材料、表面装饰材料、电气材料及各种标志、标签、商标等装饰材料。应用于包装、装饰、印刷、纺织、食品、防伪、卷烟、电子行业等领域。磁控溅射绕线镀膜机工作原理及特点:采用磁控溅射(直流、中频、射频)方法在柔性基板上沉积各种金属、合金、化合物、陶瓷等材料,单层或多层镀膜。适用于柔性衬底上各种镀介质膜系统(二氧化硅、氮化硅、氧化铝,西宁太阳能电池蒸镀机、SnO2,氧化锌,Ta2O5,等等),导电薄膜(ITO,偶氮),基于“增大化现实”技术的电影,减少人力资源高反膜,西宁太阳能电池蒸镀机,西宁太阳能电池蒸镀机、低辐射低辐射膜、合金薄膜和金属薄膜(铝、铬、铜、铁、镍、SUS不锈钢、钛铝合金,等)主要用于:柔性线路板、ITO透明导电膜、薄膜电容、汽车/火车/船舶薄膜、薄膜太阳能电池、柔性太阳能电池FPD平板显示、柔性显示装置等。真空镀膜机在镀膜的时候,需要镀层表面的化学成分保持均匀性。西宁太阳能电池蒸镀机
真空镀膜机各部件的组成及其工作原理:一、真空主体——真空室根据加工产品的要求差异,大小也不一。目前应用较广的真空室有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃烧室由不锈钢制成,不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀,用于连接各种泵。二、辅助抽气系统:排气系统是真空镀膜机的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0*10-2pa的低真空状态,为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提,然后在扩散泵的真空室抽吸时,机械泵与油扩散泵串联,完成抽吸作用。福州半导体蒸镀机真空蒸镀装置由真空抽气系统和蒸发室组成。
真空镀膜机的维修方法介绍:长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空:1、蒸发室有很多粉尘(应清冼);2、扩散泵很久未换油(应清冼换油);3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油);4、各动密封胶圈损坏(更换胶圈);5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈);6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈);7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧);8、高低预阀是否密封可靠(注油)。
真空镀膜机是在真空室中利用电阻加热法,将紧贴在电阻丝上的金属丝熔融汽化,汽化了的金属分子沉积于基片上,而获得光滑反射率的膜层,达到装饰美化物品表面的目的。获得**物美的塑料件表面装饰的理想设备,任意底色的塑料经车灯镀膜机后皆可镀成金属薄膜、七彩膜、仿金膜等,具有提高产品档次、外观较显华贵作用。应用于塑料(ABS、APS、PU、PS、PP、PC、PVC)、尼龙、陶瓷、树脂、玻璃等材料的玩具、饰物、工艺品、手机壳、电子产品、灯饰配件、化妆包装等行业。真空镀膜机一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。
真空蒸镀使用的加热方式主要有:(1)电弧加热:电弧蒸镀利用高真空中两导电材料制成的电极之间形成电弧放电产生的高温,使电极材料蒸发而在基体上凝聚成膜。(2)激光加热:脉冲激光加热表面可实现材料的瞬时蒸发,脉冲激光作为一种新的加热源,其特点之一是能量在时间和空间上高度集中,与常规的热蒸发有明显区别。带有离子轰击装置的激光蒸发,已用于若干材料的低温沉积,其中包括高质量的高温**导氧化物薄膜。激光蒸发可用于透明材料上薄膜的蒸发,从透明材料的背面照射待蒸发薄膜,把基体面向待蒸发薄膜放置,通过控制蒸发区域,则在基体上可沉积出带花纹的薄膜。真空蒸镀中的镀层通常为铝膜,但其它镀层也可通过蒸发沉积形成。昆明大型蒸镀机
真空镀膜机是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基片表面析出的过程。西宁太阳能电池蒸镀机
真空镀膜机的保养:真空镀膜机的扩散泵连续使用6个月以上,抽速会明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。方法:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。西宁太阳能电池蒸镀机
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