1.产品特点 该设备是一种新型工业级干燥设备,采用长轴耐高温大功率轴流风机,不锈钢涡轮扇叶,结合*特设计风道,智能PID温控器结合SSR固态继电器控制高效不锈钢发热器加热,形成温度均匀的高温热风,对箱体内部进行加热,确保烘箱内部达到理想的温度环境。在工作时,工作室内充满了惰性气体CO2,N2,防止材料在烘烤时被氧化,自动控制充入氮气排出氧气,达到**低氧,满足被烘烤部件无氧环境。 2. 产品用途 产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空,IC包装,LCD,晶体管,传感器,二极管,石英晶体振荡器,混合集成电路板等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。 二、产品详细参数; 1.箱体结构 1.1.内部材质:采用SUS304#日制800番1.5mm厚之镜面不锈钢板,满焊处理,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE。 1.2.外部材质:外部采用1.2mm厚优质冷轧钢板经防锈处理后喷塑,耐刮伤,造型美观。 1.3.保温材质:采用100K**保温棉,六面保温断热,保温厚度为80mm-120mm,保温性能好。 1.4. 箱门结构:箱门于箱体结合处采用耐高温硅橡胶条密封迫紧,保温性能好,抗老化,环保无污染。 1.5. 载物层架:可根据物品大小调节层间距,空间利用率高。 2. 温度控制系统:采用日本三菱PLC+7寸彩色触摸屏人机交互界面,定值/程序两种控制模式,带传感器断线报警功能,带**温警报保护功能,确保产品运行安全。 3. 控温方式 3.1.讯号来源:采日制进口CA感应棒±0.5%。 3.2.输出被控组件:SSR固态无节点输出,确保加热功率精准。 4. 箱内热风循环系统 4.1. 送风方式:箱内采用单向水平运风,两侧风道内强压送风。 4.2. 风道结构:风道两侧采用高密度冲孔风板,精准控制导流板角度,确保箱内温度均匀性。 4.3. 送风装置:采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达+大口径不锈钢涡轮扇叶,涡轮经水平纠正处理,确保运风平稳 ,噪声≤65dB。 4.4. 送风装置安全保护系统:带**温过载过流保护功能,确保马达及风机的使用寿命和安全性能。 4.5电加热系统:采用覆套式不锈钢无尘化电热管,洁净不产尘(无缝洁净不锈钢覆套,高绝缘导热改性氧化镁浇筑,无名火,安全不漏电) 5.氧含量控制系统 5.1氮气排氧控制系统采用双路氮气导入回路,各向箱内提供100L/min + 200L/min的氮气,每路配套进口电磁阀,双流量自动切换,在箱内达到无氧环境后,自动切换至低流量氮气,大大节省氮气消耗量,也可根据工艺制程要求,自行设定,满足多种工艺需求。 5.2 排氧时间≤30 min,带耐高温氧含量控制仪,氧化锆氧含量传感器,耐高温自吸泵一套,可实时检测氧含量并显示实际数值,配备氧含量**标报警功能。 6.整机安全保护系统 6.1. 采用三重**温保护系统,确保箱体在运行过程中的整体安全性能(详见技术参数)。 6.2. 箱体内部电器保护系统(确保箱体内部电器运行平稳,安全可靠): 6.2.1.**温防止器(独立限温,**温断电); 6.2.2.相序保护(欠压欠相保护); 6.2.3.马达过电流保护; 6.2.4.控制线路保险丝; 6.2.5.电热过电流保护; 6.2.6.无熔丝开关。 无氧烘箱规格:(规格参数可按客人要求定制) 型号 NHX-NO210D 温度范围 RT(常温)+10~200℃/250℃/300℃ (可根据客户需求订制较高温度600℃) 温度分辨率 0.1℃ 温度波动度 ±1.0℃ 温度均匀性 ≤±1.5% 氧含量 20ppm 门锁 机械+电控 容积 210L 内胆尺寸(宽W*深D*高H)mm 600×500×700 外部尺寸(宽W*深D*高H)mm 960×690×1560 层板数量 2块 功率 5KW 电源电压 AC 380V 50HZ(三相五线制)