中图仪器VT6000共聚焦显微镜微纳米形貌3D测量仪

中图仪器VT6000共聚焦显微镜是一款以共聚焦技术为原理、用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。可对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，从而获取反映器件表面质量的2D、3D参数。


应用领域
VT6000共聚焦显微镜可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等**精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。


性能特色
1、高精度、高重复性
1）以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法，共同组成测量系统，仪器测量精度高；
2）仪器的隔震设计能够消减底面振动噪声，在大部分的环境中稳定可靠，具有良好的测量重复性。
2、一体化操作的测量分析软件
1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；
2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；
4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；
5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；
6）可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
3、精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦等测量前工作。
4、双重防撞保护措施
除出击的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计**械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，较大限度的保护仪器，降低人为操作风险。


中图仪器VT6000共聚焦显微镜设备提供表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能；提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。4)其中粗糙度分析包括依据标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

深圳市中图仪器股份有限公司成立于2005年，致力于全尺寸链精密测量仪器及设备的研发、生产和销售。
中图仪器坚持以技术创新为发展基础，拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队，历经20年的技术积累和发展实践，研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备，能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。
中图仪器的销售和服务网点遍及全国三十多个省、市、自治区，产品**欧、美、东南亚等海外市场，坚持为客户提供高质量产品和服务。
中图仪器还将继续专注于精密测量检测技术的发展，自强不息、知难而上、勇于创新，为中国制造技术的快速发展贡献力量！